ITO靶材技术一直掌握在日本、韩国等少数企业手中,而中国企业在自主技术的研发上却一直进展缓慢。
职业健康安全方针:以人为本,关爱生命,安全发展,和谐共赢。
晶向均匀性:1、晶格匹配度;2、基片温度;3、蒸发速率。
化学组分上的均匀性:
就是说在薄膜中,化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀性,SiTiO3薄膜,如果镀膜过程不科学,那么实际表面的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技术含量所在。
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单位注册资金未知。
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