ITO靶材是高纯三氧化二铟和二氧化锡粉末按照重量比9/1或95/5(常用)混合均匀后,加压烧结成陶瓷片状,再加工成靶材成品,用作溅射镀制TCO透明导电薄膜,由于氧化铟价格较高,所以ITO靶材价格也较高。
ITO靶材就是铟锡氧化物靶材,用于通过磁控溅射工艺,在玻璃基板或**薄膜上镀上一层透明抄、导电薄膜,也就是ITO薄膜。ITO薄膜是目前氧化物薄膜里透光性和导电性的,所以ITO靶材是显示面板必须的上游材料。
国内对ITO靶材的需求量大幅增长,国内生产的ITO靶材密度低,无法满足平板显示器行业对于靶材质量的要求.仅仅部分用于低端液晶产品中。目前世界上只有日本、美国、德国等少数发达国家和地区能生产ITO靶材,而我国平板显示器产copy业所需求的ITO靶材的98%依赖于进口,因此,研制开发ITO靶材生产技术是现有In生产企业开发In深加zhidao工技术的目标。
ITO材料是一种n型半导体材料,该种材料包括ITO粉末、靶材、导电浆料及ITO透明导电薄膜。其主要应用分为平板显示器(FPD)产业,如液晶显示器(LCD)、薄膜晶体管显示器(TFT-LCD)、电激发光显示器(EL)、场发射显示器(FED)、电致**发光平面显示器(OELD)等离子显示器(PDP)等。
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