南通AZO靶材 昆山世高新材料科技

AZO靶材的指标
 Density: ≥97%
 Purity: ≥99.95%
Size:280×150 ×Th.mm
Color:Dark-Green
靶材体积电阻率：5×10- 4Ω ·cm

在高压作用下，电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片。

磁控溅射技术是20世纪70年始应用于实践的，其制备薄膜的原理：在真空室充入压强0.1-l0 Pa的惰性气体(Ar)的同时，在阴极靶材下面放置了100～1000Gauss强力磁铁。

AZO靶材：
成份组成按照客户要求，相对密度＋99.3%（＋5.55g/cm3），体电阻率≤1.0×10-3Ω。cm，单片尺寸300mm*250mm*20mm，提供帮定支持。
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