二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响,被束缚在靠近靶面的等离子体区域内,该区域内等离子体密度很高,二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动,该电子的运动路径很长,在运动过程中不断的与氩原子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材,经过多次碰撞后电子的能量逐渐降低,摆脱磁力线的束缚,远离靶材,终沉积在基片上。
AZO是铝掺杂的(ZnO)透明导电玻璃的简称。
主要应用:薄膜太阳能电池、透明导电玻璃、导电柔性膜、等离子显示器等。
具有沉积速率高、基片沉积温度低、成膜粘附性好、易控制、成本低,能实现大面积制膜的优点,成为当今工业化生产、研究多、成熟、应用广的一项成膜技术,也是AZO薄膜制备中常用的方法。
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