在市场中,石墨靶材主要来源日本、德国、美国,不仅是在靶材行业,在石墨行业我们这些国家的差距还是很大的,所以提高生产水平,增加人在投入是非常关键的因素。
探伤检测: 通过探伤设备检测背靶,确保绑定层均匀,绑定率高。
为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧,有必要阶段性的除去溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物,这也有助于用户可以连续以功率密度进行溅射。
在离子束溅射石墨靶淀积dlc膜的同时用离子束轰击,对于拓宽和改善DLC膜的性质有重要意义。
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