晶向均匀性:1、晶格匹配度;2、基片温度;3、蒸发速率。
目前中国生产的ITO靶材主要供应低端市场;而TFT-LCD、触摸屏用ITO靶材几乎全部从日本、韩国进口。
企业面临的市场竞争日趋激烈,机遇与挑战共存,要想在竞争中求生存求发展,就必须随时更新企业质量管理理念,不断提升科技与质量水平,实践证明,企业靠市场,市场靠产品,产品靠质量,质量管理理念已成为市场竞争的关键,我们只做高品质。
化学组分上的均匀性:
就是说在薄膜中,化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀性,SiTiO3薄膜,如果镀膜过程不科学,那么实际表面的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技术含量所在。