镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。
磁光盘需要的TbFeCo合金靶材还在进一步发展,用它制造的磁光盘具有存储容量大,寿命长,可反复无接触擦写的特点。
日本。就美国而言.约有50家中小规模的靶材制造商及经销商,其中的公司员工大约有几百人。不过为了能更接近使用者,以便提供更完善的售后服务,**主要靶材制造商通常会在客户所在地设立分公司。近段时间,亚洲的一些国家和地区,如闽台.韩国和新加坡,就建立了越来越多制造薄膜元件或产品的工厂,如IC、液晶显示器及光碟制造厂。
对靶材厂商而言,这是相当重要的新兴市场。中国靶材产业发展也是与日俱增,不断的扩大自己的规模和生产技术,国内*生产制造靶材的品牌已经达到国外的技术水平。2010年,日本三菱公司就在中国闽台地区建立了光碟埘靶材的生产基地,可以满足闽台50%的靶材需要。