二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响,被束缚在靠近靶面的等离子体区域内,该区域内等离子体密度很高,二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动,该电子的运动路径很长,在运动过程中不断的与氩原子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材,经过多次碰撞后电子的能量逐渐降低,摆脱磁力线的束缚,远离靶材,终沉积在基片上。
AZO靶材:
成份组成按照客户要求,相对密度+99.3%(+5.55g/cm3),体电阻率≤1.0×10-3Ω。cm,单片尺寸300mm*250mm*20mm,提供帮定支持。
是一种导电镀膜材料,AZO 薄膜由于具备材料无毒性、制备温度低、工艺相对简单、易于实现掺杂等特点。
AZO靶材的指标
Density: ≥97%
Purity: ≥99.95%
Size:280×150 ×Th.mm
Color:Dark-Green
靶材体积电阻率:5×10- 4Ω ·cm