ITO靶材的另一个难点就是烧结工艺,精准的烧结工艺是烧结高品质靶材的关键。
3、配套设备
ITO靶材就是铟锡氧化物靶材,用于通过磁控溅射工艺,在玻璃基板或**薄膜上镀上一层透明抄、导电薄膜,也就是ITO薄膜。ITO薄膜是目前氧化物薄膜里透光性和导电性的,所以ITO靶材是显示面板必须的上游材料。
ITO靶材的主要分类:溅射靶、蒸镀靶。溅射镀膜靶材:
应用领域就是TFT这一块了,用量的当数彩色滤光片 CF ,其次是Array。这两块的供应基本被国外厂商控制,国内几家也都在向CF这块进行送样测试。另一块的应用就是ITO导电玻璃了。
长期以来,ITO靶材的主要市场份额都在国外靶材生产商手中,国内只能在相对低端的行业取得一点机会。