应用领域: 科学实验或研究方面应用,微纳加工,器件制作等相关定制产品广泛用于半导体芯片、太阳能光伏 、平面 显示、特种涂层等。
石墨靶材自身具有耐高温、自润滑、耐腐蚀、导电性良好等特点,用石墨做靶材,在选材上市重要的环节,根据行业的不同选用不同材质的石墨材料,然后就要考虑石墨靶材加工中的技术问题,靶材材质的要求很严格,对加工技术的要求同样是一丝不苟的。石墨靶材的精度和误差都是重要的因素。
通过千分尺,精密卡尺,测量产品 尺寸,以确保符合图纸要求;通过表面清洁度仪测量产品表面光洁度及清洁程度。
在离子束溅射石墨靶淀积dlc膜的同时用离子束轰击,对于拓宽和改善DLC膜的性质有重要意义。
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