为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧,有必要阶段性的除去溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物,这也有助于用户可以连续以功率密度进行溅射。
通过千分尺,精密卡尺,测量产品 尺寸,以确保符合图纸要求;通过表面清洁度仪测量产品表面光洁度及清洁程度。
用激光拉曼谱和原子力显微镜等现代分析手段研究了磁控溅射石墨靶制备的薄膜的结构和特性。
在市场中,石墨靶材主要来源日本、德国、美国,不仅是在靶材行业,在石墨行业我们这些国家的差距还是很大的,所以提高生产水平,增加人在投入是非常关键的因素。
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