用激光拉曼谱和原子力显微镜等现代分析手段研究了磁控溅射石墨靶制备的薄膜的结构和特性。
原料成分分析:
通过 ICP设备检测分析,杂质元素含量,确保纯度达标;通过XRD检测粉末成分,是否成相等 情况。
一种*特的方法用来制备纳米晶金刚石,即在溶液中激光烧蚀石墨靶制备纳米晶金刚石。
石墨靶材自身具有耐高温、自润滑、耐腐蚀、导电性良好等特点,用石墨做靶材,在选材上市重要的环节,根据行业的不同选用不同材质的石墨材料,然后就要考虑石墨靶材加工中的技术问题,靶材材质的要求很严格,对加工技术的要求同样是一丝不苟的。石墨靶材的精度和误差都是重要的因素。
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单位注册资金未知。
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