长沙AZO靶厂家 昆山世高新材料科技

AZO （Aluminum Znic Oxide Target）靶材：是铝锌氧化物靶材。

磁控溅射技术是20世纪70年始应用于实践的，其制备薄膜的原理：在真空室充入压强0.1-l0 Pa的惰性气体(Ar)的同时，在阴极靶材下面放置了100～1000Gauss强力磁铁。

AZO靶材的指标
 Density: ≥97%
 Purity: ≥99.95%
Size:280×150 ×Th.mm
Color:Dark-Green
靶材体积电阻率：5×10- 4Ω ·cm

氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜。
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