靶材应该如何保养?

一、靶材保养

为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧，有必要阶段性的除去溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物，这也有助于用户可以连续以最大功率密度进行溅射。

二、靶材储存

我们建议用户将靶材无论是金属或陶瓷类保存在真空包装中, 尤其是贴合靶材更需要保存在真空条件下，以避免贴合层氧化影响贴合质量。对于金属靶材的包装，我们建议较少需要包装在洁净的塑料袋中。

三、靶材清洁

第一步用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;

第二步与第一步类似用酒精清洁;

第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建议用“无绒布”进行清洁。

第四步用高压低水气的氩气冲洗靶材，以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒。

四、短路及密封性检查

靶材完成安装后需要对整个阴极进行短路检查及密封性检查，建议通过使用电阻仪摇表的方式对阴极是否存在短路进行判断。在确定阴极不存在短路后，可以进行检漏检查，将水通入阴极确定是否存在漏水现象

五、包装和运输

所有靶材包装在真空密封塑料袋中，并附有防潮剂。外包装一般为木箱，四周有防撞层，以保护靶材和背靶避免在运输和储存过程中发生损坏。